真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)?，須有前?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
 

　　特點(diǎn)：
 

　　1.在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；
 

　　2.轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對(duì)稱(chēng)性，故振動(dòng)小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤(rùn)滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動(dòng)功率，從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；
 

　　3.泵腔內(nèi)無(wú)需用油密封和潤(rùn)滑，可減少油蒸氣對(duì)真空系統(tǒng)的污染；
 

　　4.泵腔內(nèi)無(wú)壓縮，無(wú)排氣閥。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
 

　　5.壓縮比較低，對(duì)氫氣抽氣效果差；
 

　　6.轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。
 

　　真空泵常用性能參數(shù)詳注：
 

　　1.抽氣速率(體積流率)(s單位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)
 

　　當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過(guò)的氣體流量與在試驗(yàn)罩上特定位置測(cè)得的平衡壓力之比。簡(jiǎn)稱(chēng)泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時(shí)間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。
 

　　2.極限壓力(極限真空)(單位：Pa/MPa/mmHg)
 

　　泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的低壓力。即入口端經(jīng)過(guò)充分抽氣后所能達(dá)到的低的穩(wěn)定的壓力。
 

　　3.起動(dòng)壓力
 

　　泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力。
 

　　4.前級(jí)壓力
 

　　排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。
 

　　5.前級(jí)壓力
 

　　超過(guò)了能使泵損壞的前級(jí)壓力。
 

　　6.工作壓力
 

　　對(duì)應(yīng)抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。
 

　　7.抽氣量(Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1)
 

　　流經(jīng)泵入口的氣體流量。
 

　　8.壓縮比
 

　　泵對(duì)給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。